電子束光刻設(shè)備的應(yīng)用
?電子束光刻設(shè)備用于LSI中使用的超精細(xì)電路的印刷工藝。
LSI可以說是電子設(shè)備中必不可少的部件。
例如，LSI被用作移動電話、個人電腦、游戲機(jī)、相機(jī)等的部件。
LSI的設(shè)計根據(jù)應(yīng)用而變化，有適合通信設(shè)備、電源、音頻處理、圖像處理、傳感器和AI等各種領(lǐng)域的LSI。
為了適應(yīng)各種LSI設(shè)計圖案，使用電子束光刻設(shè)備將使用CAD?（計算機(jī)輔助設(shè)計）設(shè)計的電路圖案印刷到掩模版上。