什么是電子束光刻系統(tǒng)?
?電子束光刻系統(tǒng)是用于繪制LSI(大規(guī)模集成)電路圖案的設(shè)備。
手機、電腦等電子設(shè)備中內(nèi)置有被稱為LSI的半導體電子電路部件。
設(shè)計LSI電路后,需要使用電子束將電路圖案印刷到標線(相當于鹵化銀攝影中的膠片)上。
此時,需要將尺寸和位置誤差保持在2至5nm以內(nèi)。
電子束光刻設(shè)備用于使用電子束以這種精度將電路圖案印刷到掩模版上。
?電子束光刻系統(tǒng)是用于繪制LSI(大規(guī)模集成)電路圖案的設(shè)備。
手機、電腦等電子設(shè)備中內(nèi)置有被稱為LSI的半導體電子電路部件。
設(shè)計LSI電路后,需要使用電子束將電路圖案印刷到標線(相當于鹵化銀攝影中的膠片)上。
此時,需要將尺寸和位置誤差保持在2至5nm以內(nèi)。
電子束光刻設(shè)備用于使用電子束以這種精度將電路圖案印刷到掩模版上。