如何選擇離子植入設備
?離子植入的參數(shù)有很多變化，例如所用的離子類型，要植入的離子和離子量以及要植入的晶圓的大小和類型。因此，很難僅使用一個離子植入器進行所有離子植入過程。
例如，當將離子（例如磷或硼）植入高濃度時，需要高電流和高能離子植入裝置。此外，如果要植入離子的晶片是在高溫下運行的動力裝置晶片，例如SIC，則需要將晶片加熱到高溫的設備。
另一方面，離子植入器是昂貴的制造設備。選擇一個離子植入器時，假定要植入的離子類型，植入的量和適用的晶圓大小。此外，仔細考慮設備價格和吞吐量之間的關系很重要。