光學(xué)外差微振動(dòng)測(cè)量裝置
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光學(xué)外差微振動(dòng)測(cè)量裝置
概述/規(guī)格
一種利用激光多普勒效應(yīng)
測(cè)量微小振動(dòng)的頻率和振幅的裝置。
| 響應(yīng)頻率 | 1~200MHz |
|---|---|
| 最大測(cè)量速度 | 5米/秒 |
| 測(cè)量光斑 直徑 |
約φ10μm |
特點(diǎn)/應(yīng)用
高剛性外殼即使在桌面上也能精確測(cè)量 200MHz 振動(dòng)
能夠測(cè)量垂直（面外）振動(dòng)和橫向（面內(nèi)）振動(dòng)
易于操作的顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)和直觀的信號(hào)輸出
可通過(guò)軟件進(jìn)行振動(dòng)分析、動(dòng)畫(huà)等（可選）
MEMS器件、晶體諧振器、SAW器件等的振動(dòng)分析