如何選擇離子注入機(jī)
?離子注入的參數(shù)有很多變化，例如所用的離子類型、離子的動(dòng)能和劑量、需要注入的晶圓的尺寸和類型等。因此，單個(gè)離子注入機(jī)很難處理所有的離子注入工藝。
例如，當(dāng)注入高濃度的磷或硼離子時(shí)，需要使用大電流、高能量的離子注入機(jī)。此外，當(dāng)需要注入離子的晶圓是SiC等高溫工作的功率器件晶圓時(shí)，需要使用能夠?qū)⒕A加熱到高溫的設(shè)備。
另一方面，離子注入設(shè)備是昂貴的制造設(shè)備。選擇離子注入設(shè)備時(shí)，需要考慮注入的離子種類、注入量、適用晶圓尺寸等必要條件。在此基礎(chǔ)上，仔細(xì)權(quán)衡設(shè)備價(jià)格與產(chǎn)量之間的關(guān)系至關(guān)重要。