使用Ashing設備
?Ashing設備用于在半導體制造過程中去除離子植入物,刪除諸如固定的聚合物(例如抗抑制劑),并在制造CCD時卸下顏色過濾器。
有兩種類型的肌肉方法:使用等離子體灰燼的Plasma Ashing和臭氧Ashing,它們通過與碳氫化合物反應,使用臭氧灰燼。主要方法是血漿,它通過使用氧作為等離子體來增加反應性,以增加肌肉效應。
?Ashing設備用于在半導體制造過程中去除離子植入物,刪除諸如固定的聚合物(例如抗抑制劑),并在制造CCD時卸下顏色過濾器。
有兩種類型的肌肉方法:使用等離子體灰燼的Plasma Ashing和臭氧Ashing,它們通過與碳氫化合物反應,使用臭氧灰燼。主要方法是血漿,它通過使用氧作為等離子體來增加反應性,以增加肌肉效應。