可視化高頻振動分布!
?MEMS技術現(xiàn)在不僅應用于半導體等電子工業(yè),還應用于物性研究、生物技術、器件開發(fā)等各個領域。
在無線通信領域,這種MEMS技術被用來開發(fā)可在高頻范圍內(nèi)使用的設備。
薩格納克干涉儀振動觀測設備可以可視化GHz頻段高頻器件(壓電薄膜、SAW濾波器、FBAR等)的振動分布。
?MEMS技術現(xiàn)在不僅應用于半導體等電子工業(yè),還應用于物性研究、生物技術、器件開發(fā)等各個領域。
在無線通信領域,這種MEMS技術被用來開發(fā)可在高頻范圍內(nèi)使用的設備。
薩格納克干涉儀振動觀測設備可以可視化GHz頻段高頻器件(壓電薄膜、SAW濾波器、FBAR等)的振動分布。